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微區表面形貌

時間:2014-08-07 14:21:14瀏覽次數:3351

微區表面形貌

檢測行業中觀察樣品形貌一般用光學顯微鏡和電子顯微鏡(SEM),其中光學顯微鏡的優勢在于操作簡單、能直觀看到待測位置的形貌、顏色等。在宏觀形貌觀察領域,光學顯微鏡(SEM)有著不可替代的優勢,但在微觀形貌觀察時,光學顯微鏡則由于景深小而造成很多局限。比如樣品觀察面需要非常平整,否則觀察不到或者拍攝出的圖片質量差,此時樣品需要制樣磨平,但這樣就破壞了樣品原本的表面形貌。這種時候就需要電子顯微鏡(SEM)來彌補這一缺陷。

和傳統光學顯微鏡相比,掃描電鏡(SEM)具有以下特點:

1、能夠直接觀察樣品表面的結構,樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。

2、樣品制備過程簡單,不用切成薄片。 

3、樣品可以在樣品室中作三維空間的平移和旋轉,因此,可以從各種角度對樣品進行觀察。

4、景深大,圖象富有立體感。掃描電鏡(SEM)的景深較光學顯微鏡大幾百倍。 

5、圖象的放大范圍廣,分辨率也比較高。可放大十幾倍到幾十萬倍,圖像分辨率可達3nm。

6、電子束對樣品的損傷與污染程度較小。

7、在觀察形貌的同時,還可利用從樣品發出的其他信號作微區成分分析。

掃描電子顯微鏡(SEM)是觀察微觀形貌的最有力工具,目前已廣泛應用于材料、生物、環境等領域。



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